24PPM
99.8%
60μm
主要實現來料組緩存、厚度檢測、尺寸測量、X-ray檢測工藝
· 有效的極組緩存數量：緩存設置設置≥80pcs，微小故障不停機保證生產節拍；
· 穩定的極組厚度檢測：壓力200N-500N，厚度范圍5~20mm
· 接觸式極組厚度檢測，測試精度±0.1mm；
· 創新型極組檢測移載方式，保證拾取過程不對極組造成傷害；
· 創新x-ray檢測方式，誤判率<2%漏判率≤0%
· 極組與設備的綁定，實現信息可追。
| 設備產能 | 24PPM | 產品優率 | ≥99.8% |
| 成像部件 | 平板探測器和TDI | 稼動率 | ≥99% |
| 檢測精度 | ≤60μm | 檢測極組層數（MAX） | 80層 |
| 兼容范圍 | 100-220mm（L）x 40-86mm（T）x 125-220mm（H）x 80-200mm（D） | ||
| 整體尺寸 | 8200mm(L） x 2400mm(W) x 2500mm(H) | ||
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